電子工業(yè)超純水系統(tǒng)工藝流程

　　水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)需符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

　　超純水系統(tǒng)應(yīng)用場(chǎng)合

　　半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;LCD、EL、PDP、TFT、玻殼、顯像管;超純材料和超純化學(xué)試劑；

　　光導(dǎo)纖維、光盤;汽車、家電表面電泳漆清洗用水;其他高科技精微產(chǎn)品;實(shí)驗(yàn)室和中試車間。

　　超純水系統(tǒng)工藝流程

　　方案一：預(yù)處理→反滲透→初混→精混→終端后處理；

　　方案二：預(yù)處理→二級(jí)反滲透→EDI（CDI）→終端后處理；

　　方案三：膜法（UF）預(yù)處理→二級(jí)反滲透→EDI→膜脫氣→拋光→終端后處理。